安徽华远配备获得镀膜用载板专利进步载板利用率

  金融界2025年3月29日音讯，国家知识产权局信息数据显现，安徽华远配备科技有限公司获得一项名为“一种镀膜用载板”的专利，授权公告号 CN 222684739 U，请求日期为2024年6月。

  专利摘要显现，本实用新型触及半导体加工设备技术领域，详细触及一种镀膜用载板包含多个平板和多片基片，基片设置在平板上，还包含C型梁3和横梁，所述相邻两平板之间经过横梁衔接，横梁的两头部与C型梁3衔接，每个平板均匀分布有多个基片。本实用新型镀膜用载板结构相对比较简单、运用起来更快捷，且C型梁和横梁的设置即进步了结构的强度，又能减小横梁两边基片的间隔，来提高载板利用率；处理了加热后不同零部件温度有温差时，Pocket用于放多片基片的平板会呈现变形；方管溅射时边际简单有色差，载板利用率低的问题。

  天眼查资料显现，安徽华远配备科技有限公司，成立于2021年，坐落宣城市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册本钱2200万人民币，实缴本钱1000万人民币。经过天眼查大数据分析，安徽华远配备科技有限公司参加招投标项目17次，产业线条，此外企业还具有行政许可2个。

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